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蔵書情報

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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報(基本)

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み  図解入門:How‐nual Visual Guide Book  

著者名 佐藤淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12


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No. 種別 資料番号 所蔵館 請求記号 取扱区分 状態 配架場所 特記 貸出
1 一般書1910658937中央図書館549.8/サ/ 在架 5F一般開架 

関連資料

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2019
549.8 549.8

書誌情報(詳細)

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タイトルコード 1000002462625
種別 図書
著者名 佐藤淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
ISBN 4-7980-6037-2
分類記号 549.8
分類記号 549.8
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み  図解入門:How‐nual Visual Guide Book  
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
副書名 ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
副書名ヨミ ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
内容紹介 半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者にもわかるよう解説した半導体製造装置の入門書。製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩がよくわかる。第3版。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業株式会社(現、TDK)に入社。1982年、ソニー株式会社に入社。半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
件名1 半導体製造装置
版表示 第3版
叢書名 図解入門:How‐nual



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