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蔵書情報

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書誌情報(基本)

書名

図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み  How−nual visual guide book 

著者名 佐藤淳一/著
著者名ヨミ サトウ,ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2010.5


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No. 種別 資料番号 所蔵館 請求記号 取扱区分 状態 配架場所 特記 貸出
1 一般書1019112703中央図書館549.8/サ/ 在架 書庫A 
2 一般書1080330192鶴川駅前549.8/サ/ 在架 一般開架 

関連資料

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2010
549.8
半導体

書誌情報(詳細)

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タイトルコード 1000001483895
種別 図書
著者名 佐藤淳一/著
著者名ヨミ サトウ,ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2010.5
ページ数 231p
大きさ 21cm
ISBN 4-7980-2610-7
分類記号 549.8
書名 図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み  How−nual visual guide book 
書名ヨミ ズカイ ニュウモン ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
副書名 製造装置の全体を俯瞰する技術力の真髄
副書名ヨミ セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカンスル ギジュツリョク ノ シンズイ
内容紹介 半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置まで、豊富なイラストで解説した入門書。現場で使われている用語も交え、現場に近い視点で解説。「図解入門よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」姉妹編。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年東京電気化学工業(株)入社。82年ソニー(株)入社。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師等経験。現在ナノフロント研究所代表。応用物理学会員。
件名1 半導体
叢書名 How−nual visual guide book



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