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蔵書情報

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書誌情報(基本)

書名

図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み  How−nual visual guide book 

著者名 佐藤淳一/著
著者名ヨミ サトウ,ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2011.10


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No. 種別 資料番号 所蔵館 請求記号 取扱区分 状態 配架場所 特記 貸出
1 一般書1019498573中央図書館549.7/サ/ 在架 5F一般開架 
2 一般書1080302241鶴川駅前549.7/サ/ 在架 書庫A 

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2011
549.7
集積回路 半導体

書誌情報(詳細)

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000001612151
種別 図書
著者名 佐藤淳一/著
著者名ヨミ サトウ,ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
ISBN 4-7980-3063-5
分類記号 549.7
書名 図解入門よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み  How−nual visual guide book 
書名ヨミ ズカイ ニュウモン ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ
副書名 リソグラフィ技術の核心に迫る
副書名ヨミ リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル
内容紹介 半導体チップの微細回路を生み出すキーテクノロジー「リソグラフィ」技術をわかりやすく解説した入門書。プロセスフローを例にして、基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年東京電気化学工業(株)入社。82年ソニー(株)入社。半導体先端テクノロジーズ創立時に出向等。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員。
件名1 集積回路
件名2 半導体
叢書名 How−nual visual guide book



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