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書誌情報(基本)

書名

トコトンやさしい*超微細加工の本  B&Tブックス 今日からモノ知りシリーズ  

著者名 麻蒔立男/著
著者名ヨミ アサマキ,タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1


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資料情報

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No. 種別 資料番号 所蔵館 請求記号 取扱区分 状態 配架場所 特記 貸出
1 一般書1017365691中央図書館532/ア/ 在架 書庫A 
2 一般書1042523892金森図書館532/ア/ 在架 一般開架 

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2004
549.8
半導体 精密加工

書誌情報(詳細)

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1000000842904
種別 図書
著者名 麻蒔立男/著
著者名ヨミ アサマキ,タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
ISBN 4-526-05226-4
分類記号 549.8
書名 トコトンやさしい*超微細加工の本  B&Tブックス 今日からモノ知りシリーズ  
書名ヨミ トコトン ヤサシイ*チョウビサイ カコウ ノ ホン
内容紹介 超微細加工は薄型ディスプレイやLSIなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしている。本書では、その超微細加工についてトコトンやさしく解説する。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。32年静岡大学工学部卒、日本電気(株)入社。42年日電バリアン(株)設立と同時に出向。51〜52年日本真空協会理事、研究部会長。60年東京都知事賞受賞。61年日電アネルバ(株)取締役。平成2年東京理科大学教授。13年第26回技術賞受賞。
件名1 半導体
件名2 精密加工
叢書名 B&Tブックス



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