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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報(基本)

書名

図解でわかる*半導体製造装置   

著者名 菊地正典/監修
著者名ヨミ キクチ,マサノリ
出版者 日本実業出版社
出版年月 2007.4


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No. 種別 資料番号 所蔵館 請求記号 取扱区分 状態 配架場所 特記 貸出
1 一般書1018237667中央図書館549.8// 在架 5F一般開架 

関連資料

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2007
549.8
半導体

書誌情報(詳細)

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タイトルコード 1000001165524
種別 図書
著者名 菊地正典/監修
著者名ヨミ キクチ,マサノリ
出版者 日本実業出版社
出版年月 2007.4
ページ数 182p
大きさ 21cm
ISBN 4-534-04217-5
分類記号 549.8
書名 図解でわかる*半導体製造装置   
書名ヨミ ズカイ デ ワカル*ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
内容紹介 半導体をつくるための装置である半導体製造装置。本書では、拡散工程から特性検査工程までの各工程で使用される装置の構造、操作原理、技術のすべてを、現場の一流の技術者がわかりやすく徹底図解で解説する。
著者紹介 1968年東京大学工学部卒業後、日本電気(株)入社。半導体デバイス・プロセスの開発と生産に従事。2005年から(社)日本半導体製造装置協会専務理事。
件名1 半導体



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